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■ 设备优势
◆ 激光器自制，自主可控
◆ 工艺窗口较广，可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行业标准
■ 应用领域
应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火（以碳化硅材料为基板的晶圆）。
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