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NanoPro-100系列晶圆自动光学检测设备品牌
中导光电产地
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NanoPro-100系列产品是中导光电首台推向市场的纳米图形晶圆缺陷检测设备，其适用于0.13-0.18um工艺产线的IC有图形和无图形晶圆缺陷检测。
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