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| 测量系统 | |
| 测量原理 | 白光干涉法 |
| Z-定位系统 | Piezo物镜调整系统 |
| 高度测量范围 | **到400um |
| 物镜放大 测量领域 横向*小可溶解的间隔 | 2.5x,5x,10x,20x,50x,100x 4.12x3.06mm to 0.103x0.075mm 10.54um or 0.55um |
| 光源 | LED |
| 测量时间 | < 20 sec. |
| 软件 | |
| smartWLI | 软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出的3D数据 |
| MountainsMap | 广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理 DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定,顺序处理,测量记录 |
| File formats | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIFF |
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