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稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。

Bearing 轴承	Hybrid
Compression ratio for Ar 氩气压缩比	> 1 · 1011
Compression ratio for H2 氢气压缩比	1.4 · 105
Compression ratio for He 氦气压缩比	1.3 · 107
Compression ratio for N2 氮其压缩比	> 1 · 1011
Cooling method， optional 冷却方式，选择性	Air/water
Cooling method， standard 冷却方式，标准	Convection
Cooling water consumption 冷却水耗量	75 l/h
Cooling water temperature 冷却水温度	5-25 °C \| 41-77 °F \| 278-298 K
Electronic drive unit 控制器	with TC 110
Flange (in) 法兰（进）	DN 63 ISO-K
Flange (out) 法兰（出）	DN 16 ISO-KF / G 1/4"
Fore-vacuum max. for N2 氮气**前级真空	22 hPa \| 16.5 Torr \| 22 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar 氩气全转速时的气流量	0.54 hPa l/s \| 0.4 Torr l/s \| 0.54 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2 氢气全转速时的气流量	15.3 hPa l/s \| 11.48 Torr l/s \| 15.3 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He 氦气全转速时的气流量	2.7 hPa l/s \| 2.02 Torr l/s \| 2.7 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2 氮气全转速时的气流量	1.3 hPa l/s \| 0.98 Torr l/s \| 1.3 mbar l/s
Interfaces 接口	RS-485， Remote
Mounting orientation 安装方向	in any orientation
Operating voltage 运行电压	24 (± 5 %) V DC
Permissible magnetic field max. 容许的**磁场	3.3 mT
Protection category 防腐等级	IP 54
Pumping speed for Ar 氩气抽速	66 l/s
Pumping speed for H2 氢气抽速	48 l/s
Pumping speed for He 氦气抽速	58 l/s
Pumping speed for N2 氮气抽速	67 l/s
Rotation speed ± 2 % 旋转速度 ± 2 %	90000 min-1
Rotation speed variable 可变旋转速度	50-100 %
Run-up time 启动时间	1.7 min
Sound pressure level 声压级	≤ 48 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP 根据PNEUROP的极限压力	< 1 · 10-7 hPa \|< 7.5 · 10-8 Torr \|< 1 · 10-7 mbar
Venting connection 排气连接件	G 1/8"
Weight 重量	2.4 kg \| 5.29 lb