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技术规格：
- 单腔体或者多腔体(Cluster);
- 衬底尺寸：10cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;
- 衬底类型：刚性(沉积时振荡)，柔性(Reel - Reel);
- 灯丝类型：石墨(美国**#6214706， #6427622)，传统灯丝;
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